真空爐整體可大致分為六大組成部分為：爐體、加熱室、充放氣系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、控制系統(tǒng)和真空系統(tǒng)。 

     爐體主要包括爐殼和傳送裝置。爐殼鋼板的選擇主要是根據(jù)爐體承受的壓強(qiáng)來(lái)決定的，壓力越高就要選擇相對(duì)較厚的鋼板；傳送裝置可分為立式的絲桿傳送和臥式的鏈條傳送。

    加熱室包括保溫屏、加熱元件、水冷電極、連接板、支架桿、緊壓螺母、爐床、爐床支柱、導(dǎo)電桿、導(dǎo)電桿接頭等。保溫屏一般分為金屬和石墨兩大類。不充氣的情況下石墨保溫屏采用軟氈的形式；充氣的情況下保溫屏要采用復(fù)合硬氈。金屬類保溫屏在低溫的情況下選用不銹鋼材料，高溫的時(shí)候要采用鉬等耐高溫材料。加熱室其他物品一般采用高強(qiáng)石墨，既要保障它耐高溫、強(qiáng)度大又要保證材料價(jià)格便宜。 

    充放氣系統(tǒng)主要包括：氣瓶、充氣管道、充氣閥、放氣閥等。充氣閥的主要作用是：開關(guān)氣路，控制氣流大小，定量充氣的作用。 

    水冷系統(tǒng)主要包括水流量計(jì)和水壓表。其結(jié)構(gòu)為冷壁式結(jié)構(gòu)，即在雙層爐壁之間要不間歇的循環(huán)通水來(lái)帶走爐壁升溫過(guò)程中產(chǎn)生的熱量，防止?fàn)t壁升溫過(guò)高。在進(jìn)水口每一路都要有水流量計(jì)，確保能觀察到每路水循環(huán)的狀態(tài)。 

    控制系統(tǒng)一般主要包括：PLC、控溫表、真空計(jì)配套規(guī)管、無(wú)紙記錄儀、低壓電器、工控機(jī)、模擬板等。PLC的作用就是控制傳輸我們所需要的各個(gè)動(dòng)作的指令，是總控制中心。控溫表主要是在升溫和保 溫過(guò)程中來(lái)調(diào)節(jié)溫度的大小，達(dá)到我們需要的溫度。衡量一個(gè)真空爐最重要的一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)就是真空度。真空規(guī)管就是測(cè)量真空度的傳感器，真空計(jì)是顯示和控制部分。真空規(guī)管將測(cè)量到的真空度值以電信號(hào)傳給真空計(jì)，真空計(jì)把電信號(hào)轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的真空度數(shù)字值，并顯示出來(lái)。有的真空計(jì)還可以輸出自動(dòng)控制信號(hào)。真空規(guī)管又可分為電離規(guī)管和電阻規(guī)管。電離規(guī)管能準(zhǔn)確測(cè)量出1pa以下的真空度大??；電阻規(guī)管能準(zhǔn)確測(cè)量出1pa以上的真空度大小。 

    真空系統(tǒng)主要包括：機(jī)械泵、羅茨泵、擴(kuò)散泵、分子泵、真空閥和電磁壓差閥等。機(jī)械泵分為旋片泵和滑閥泵為一級(jí)泵，可以單獨(dú)使用。羅茨泵為二級(jí)泵，不可以單獨(dú)使用，必須有前級(jí)泵。擴(kuò)散泵和分子泵抽取的極限壓強(qiáng)更小，可使所抽容器達(dá)到更高的真空度。泵抽速大小的選取一般根據(jù)所抽容積的大小和極限真空度。真空閥的主要作用是將真空爐內(nèi)部與外界進(jìn)行隔開或聯(lián)通的裝置，可以使泵停止工作期間真空爐內(nèi)依然為真空狀態(tài)。